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2020年01月21日 星期二

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廣東省集成電子薄膜院士工作站

點擊次數:  更新時間:2018-01-17 11:34:45  【打印此頁】  【關閉

該工作站以李言榮院士及其創新團隊為技術核心,該工作站院士團隊長期從事電子功能薄膜材料和器件研究,先后承擔973、863、自然基金等20 多個科研項目,取得國家、省部級獎勵15 項,其中超導雙面薄膜材料技術和熱釋電薄膜材料技術兩項代表性成果已在軍用電子器件/系統中得到驗證和應用。先后通過對超導薄膜、鐵電薄膜和介電集成薄膜等三種典型氧化物功能材料的系統研究,積極推動介電/半導體集成技術的自主發展。


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